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三甲基氯硅烷（分子式：(CH3)3SiCl），也稱氯化三甲基硅烷、氯代三甲基硅烷、三甲基一氯硅烷，室溫下為無色液體，是鹵代硅烷的一種，在有機合成中有很多用途。它在無水情況下穩(wěn)定，但遇水即分解，生成六甲基二硅氧烷和鹽酸。由氯甲烷與硅粉在氯化亞銅存在下反應(yīng)并精餾提純獲得，也可由親核性甲基試劑如甲基鋰與四氯化硅發(fā)生親核取代反應(yīng)制得。

英文名：trimethyl chlorosilane

化學(xué)式：C3H9ClSi

CAS登錄號：75-77-4

EINECS號：200-900-5

熔    點：-40℃

外    觀：無色透明液體。

閃    點：-18℃

分子量：108.64

密    度：0.857g/cm3

沸    點：57.3℃

儲存：密封陰涼干燥保存。

用途:用作硅酮油制造的中間體、憎水劑、分析用試劑、 聚硅酮液中間體、甲基硅油封頭劑、抗水劑。